潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)廢(fèi)水(shuǐ)處(chǔ)理

　　一，工業潔(jié)淨(jìng)室特別是電子工業潔淨室(shì)排放的廢(fèi)水(shuǐ)主要成份(fèn)有：含酸廢水，含鹼廢水(shuǐ)，含(hán)氟廢(fèi)水(shuǐ)，含磷(lín)廢水(shuǐ)，有機(jī)廢(fèi)水(shuǐ)等不(bù)同(tóng)行(háng)業，不(bù)同(tóng)產(chǎn)品，不同工藝其(qí)廢(fèi)水的成(chéng)份(fèn)不同，但都(dū)必須進行(háng)處(chǔ)理，處理(lǐ)後的(dí)廢(fèi)水達(dá)到國(guó)家(jiā)排放標準方能排放(fàng)。

　　半(bàn)導(dǎo)體集(jí)成電路(lù)工(gōng)廠(chǎng)的(dí)廢(fèi)水處(chǔ)理大都采(cǎi)用化(huà)學中(zhōng)和沉(chén)澱(diàn)法處理(lǐ)。其(qí)典(diǎn)型流(liú)程如(rú)下：

　　二(èr)，生物潔淨(jìng)室特(tè)別是(shì)生物(wù)安全實驗(yàn)室(shì)排(pái)出(chū)的廢(fèi)水中(zhōng)往(wǎng)往(wǎng)含有病(bìng)毒，有害(hài)微生物和(hé)致敏(mǐn)性物質，而且(qiě)產品(pǐn)品種(zhǒng)，生產工(gōng)藝不同(tóng)廢水的(dí)成份(fèn)也不(bù)同。因此(cǐ)含有(yǒu)害微生物的(dí)廢(fèi)水應按(àn)成(chéng)份分(fēn)別(bié)收集，分別滅(miè)活(huó)，消毒滅(miè)菌後達標才(cái)能排放。

　　潔淨室(shì)的(dí)廢氣處理

　　一，工業(yè)潔淨室，特(tè)別是電(diàn)子(zǐ)工業潔(jié)淨(jìng)室(shì)排放(fàng)的(dí)廢主(zhǔ)要(yào)成份有(yǒu)：一般廢(fèi)氣，熱(rè)廢氣(qì)，有機廢氣，酸鹼廢氣(qì)，含磷等特(tè)殊廢(fèi)氣，含(hán)粉塵(chén)的廢氣等，不(bù)同行業(yè)，不同(tóng)產品，不(bù)同工藝其排放(fàng)的廢氣(qì)的(dí)成(chéng)份不同(tóng)，但都必(bì)須(xū)處理(lǐ)達到(dào)國家排(pái)放(fàng)標準(zhǔn)後(hòu)方(fāng)能(néng)排到(dào)室外。

　　1，一般由生活用房，值(zhí)班室，衛(wèi)生間排(pái)出的一般廢氣可直(zhí)接(jiē)排到室外(wài)。

　　2，排(pái)放(fàng)的有(yǒu)機廢氣超(chāo)標(biāo)時必須(xū)經過有機廢氣處理設備(bèi)處理達標後(hòu)再排放有機(jī)廢氣，處(chǔ)理(lǐ)方(fāng)法有活(huó)性炭(tàn)吸附(fù)法，液(yè)體(tǐ)吸(xī)收(shōu)法(fǎ)和催(cuī)化燃燒(shāo)法等(děng)。

　　3，含酸(suān)鹼廢氣在生產(chǎn)工藝中(zhōng)排放的較(jiào)多，一(yī)般都(dū)是(shì)經過(guò)淋液(yè)濕(shī)式洗氣吸(xī)收塔進(jìn)行中(zhōng)和處理達(dá)標排放(fàng)。

　　4，排放的熱廢(fèi)氣(qì)一般情況下可(kě)直(zhí)接排(pái)放，如(rú)果(guǒ)溫度較高必須采(cǎi)取(qǔ)隔(gé)熱措(cuò)施以(yǐ)免(miǎn)傷人。

　　5，含(hán)塵廢氣必須經過適(shì)當(dāng)的除塵(chén)裝(zhuāng)置除塵後(hòu)再排至大氣。

　　6，含(hán)磷(lín)，含砷等特(tè)殊(shū)廢(fèi)氣(qì)首先防止在排氣(qì)係統中產生化學反應並通過(guò)專(zhuān)用(yòng)的(dí)廢氣(qì)處理設(shè)備處(chǔ)理後(hòu)達(dá)標排(pái)放。通(tōng)常(cháng)處理方法(fǎ)有稀釋法(fǎ)，吸收(shōu)法，吸附法(fǎ)，催(cuī)化燃(rán)燒法等等。

　　二，生(shēng)物(wù)潔淨(jìng)室尤其(qí)是生(shēng)物安全實驗(yàn)室的排風一(yī)般含(hán)有活性(xìng)的(dí)有(yǒu)毒有(yǒu)害的(dí)病(bìng)菌等微(wēi)生物。因此這類(lèi)排風(fēng)須(xū)經(jīng)過(guò)過濾滅菌(jūn)後(hòu)再(zài)排放。如(rú)手術(shù)室(shì)的(dí)排風(fēng)須經過中效(xiào)過濾(lǜ)方能排到室(shì)外(wài);P3實(shí)驗(yàn)室的排風須(xū)經過(guò)高效(xiào)過(guò)濾(lǜ)器(qì)過濾(lǜ)後方(fāng)能(néng)排到室外(wài);P4實驗室(shì)的(dí)排(pái)風須經過(guò)兩級(jí)高效過濾器過濾後才能排(pái)到室外。為了安全(quán)*好(hǎo)采用(yòng)袋進袋出的高(gāo)效過(guò)濾器裝(zhuāng)置。

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